晶圆厂的设备                                                      低污染
化学传送系统                                                      低溢出气体
帮浦、阀件、过滤器...等                                  干制程设备：TEL、LAM、AKT
特殊的酸类及电浆(PLASMA)                            湿制程设备：DNS、SES
高真空